The Information によると、7 月 15 日時点で ASML は深紫外(DUV)および極紫外(EUV)半導体製造装置の価格を少なくとも 10% 引き上げる計画だが、TSMC はこの増額に抵抗している。
ASML はここ数週間で、中国のチップメーカーやその他の顧客に対し、予定している値上げを通知している。中国の一部メーカーはより高い DUV の価格を受け入れることに同意している一方で、TSMC は DUV と EUV の装置価格を同時に引き上げることに反対している。現在の DUV 装置は約 9,000 万ドル(約 9000 万ドル)の価格で、最新世代の EUV システムは最大 4 億ドルかかる可能性がある。