中资支持公司启动 DUV 光刻设备生产,计划在 2026 年部署 5 台设备

据《The Information》援引消息人士称,7 月 27 日,一家由中国支持的公司开始量产其自主研发的 DUV(深紫外)光刻设备,目标是在 2026 年出货约 5 台,并计划于 2027 年扩展至约 20 台。该设备预计将交付给多家中国主要芯片制造商,包括长鑫存储、SMIC 和华虹半导体,标志着中国半导体供应链本地化取得实质进展。
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